复合泵结构所示（SIP+NEG）复合泵所用的SIP为北京科仪厂的商用200L/s二极泵。阳极组件和阴极均在500真空除气约24h.该泵极限真空为1110-8Pa.在SIP的抽气法兰连接管内侧焊接螺钉，用于悬挂和固定NEG组件，组件正好占领SIP中心空腔。在连接管上增开一个法兰孔，安装电极引线法兰，为NEG组件加热供电和引出贴在NEG带上的热电偶的信号。
组件复合泵采用了意大利SAES公司的NEG组件WP1250（St707）<5>。组件由St707/CTAM30D吸气剂带折叠成型，带的展开长度3m，带宽30mm，基带为02mm厚的康铜带，二面各辗涂厚度约007mm的一层吸气剂粉，吸气剂带总厚度约035mm，涂层宽度27mm，组件含吸气剂总量约70g，单面单位面积吸气剂约40mg/cm2，吸气剂带的电阻约90m/m，WP1250组件电阻014，组件总重量约460g.
暴露过大气的NEG，表面和高密度活性气体分子化合，生成钝化层，阻挡气体分子和NEG的进一步反应，NEG失去抽气作用。为此，必须在真空中加热激活NEG，使表面化合物层中的气体分子扩散进NEG体内，使表面层新鲜，恢复抽气性能。NEG在室温时对H2、CO、CO2、N2、O2、H2O等气体都有相当高的抽速。NEG的一个显著特点是抽速不随气体压强而变，但随吸气量的增加而下降。当抽速降至一定值，不能维持系统所要求的抽速和真空度时，表明NEG已饱和，即体内的H2浓度较高或表面已被H2以外的活性气体所钝化。这时也须对NEG加热再生，使体内的H2向体外扩散释放，同时使表面钝化层内的H2以外的活性气体向体内扩散。释放的H2应由SIP或分子泵抽除。对St707，推荐的激活和再生方式为450、加热45min.激活再生后的NEG能恢复初始抽气性能，但抽速可能略有下降。NEG允许多次激活再生，只要尽量减少NEG暴露大气的次数，并主要利用NEG在UHV条件下的高抽速特点，NEG的寿命是相当长的。
NEG激活再生的加热方式加热NEG的方法有多种。一是对整个复合泵烘烤。主要问题是温度超过350时，SIP的磁铁发生不可逆的退磁，SIP工作失败。如烘烤温度较低，则加热时间长，且NEG可能不被完全激活。
二是只对复合泵内的NEG带直接通电加热或用加热元件加热，SIP不烘烤，受NEG的热辐射，泵的局部温度可能高于室温。该法采用较高温度、较短时间组合，如500、10min就可完全激活St707.
由于NEG带电阻小，温度要高，故加热电流要大，电极引线要粗，组件结构和安装的电稳定性要可靠。
采用较低温度较长时间组合，如SAES公司推荐的450、45min，可减小加热电流和电源功率。
三是SIP烘烤后期对NEG通电加热。该法既使NEG利用了泵的烘烤热量，又进一步减少NEG的热辐射损耗，可降低NEG的加热电流，缩小电源和电极引线直径。同时，较高温度的SIP内壁减少了对NEG放出气体的吸附，分子泵可以更有效地抽除放气，减少SIP的抽H2量，有利于延长SIP阴极寿命，也有利于系统真空度提高。 |
